DFC質(zhì)量流量計(jì)
杜威DFC系列質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成。用以準(zhǔn)確可靠的測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量，測(cè)量和控制精度高、零飄小，測(cè)量和控制范圍寬，測(cè)量和控制的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響。
一、概述
杜威DFC系列質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成。用以準(zhǔn)確可靠的測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量，測(cè)量和控制精度高、零飄小，測(cè)量和控制范圍寬，測(cè)量和控制的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響。
二、應(yīng)用場(chǎng)景
廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入等場(chǎng)合，以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
三、工作原理
流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，控制輸出的流量檢測(cè)電壓與流過通道的流量成比例。
工作原理圖
四、產(chǎn)品特點(diǎn)
耐壓高及適用于真空條件下工作，低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。
具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定可靠。
五、主要技術(shù)參數(shù)
供電電源：24VDC
測(cè)量范圍：0～5～500ml/min，0～1～500L/min
測(cè)量精度：±1.0%FS
線性：±0.5%FS
重復(fù)精度：±0.2%FS
工作壓差：0.1～0.5MPa
工作環(huán)境溫度：-10～120℃
輸出信號(hào)：4~20mA、0~10V、RS485(ModBus)
供電：DC15V～DC24V可選，流量計(jì)<400mA，控制器<600mA
電氣連接：DB15
底座材質(zhì)：316L不銹鋼
密封材質(zhì)：氟橡膠、丁晴橡膠、氯丁橡膠
氣體接頭：Φ3、Φ6、Φ10、1/8〞、1/4〞、3/8〞
六、外形尺寸
外形及安裝尺寸
氣路接頭形式
電纜連接插頭
七、功能操作
1. 不帶液晶顯示屏操作
1) 開機(jī)前的準(zhǔn)備工作
用我公司提供的電纜線將質(zhì)量流量計(jì)和流量顯示儀連接。
選擇設(shè)定信號(hào)的來源。信號(hào)的來源可選擇內(nèi)部和外部，選擇設(shè)定信號(hào)來源的接口設(shè)在流量顯示儀的后面板上。如果將設(shè)定端子與內(nèi)設(shè)相連時(shí)，從流量顯示儀上獲得設(shè)定信號(hào)。如果從其他設(shè)備上得到設(shè)定信號(hào)，則需要將信號(hào)源與設(shè)定相連接。
2) 開機(jī)操作
接通電源后，先預(yù)熱1分鐘，再通氣工作，以保證測(cè)量的準(zhǔn)確度。
如：通電時(shí)，將閥控開關(guān)置于“關(guān)閉”位置并將設(shè)定電位器調(diào)到零，待零點(diǎn)穩(wěn)定后，將閥控開關(guān)轉(zhuǎn)到“閥控”位，然后再將設(shè)定流量調(diào)到您需要的值，實(shí)際流量將跟蹤設(shè)定值而改變。
3) 清洗與關(guān)閉功能
將閥控開關(guān)置為“清洗”位，閥將打開到最大，如果氣路上下游存在工作壓差，將會(huì)有很大的氣流通過，此功能可用于吹洗管路，或用于排除MFC 內(nèi)部及其管路殘存的其他氣體。清洗時(shí)的氣流量可達(dá)該控制器額定滿量程流量的幾倍至幾十倍。清洗后，應(yīng)打閥“關(guān)閉”，然后才能進(jìn)行正常“閥控”操作；不得直接轉(zhuǎn)置“閥控”位，因?yàn)榇瞬僮鞑荒鼙ＷC閥控正常動(dòng)作。將閥控開關(guān)置為“關(guān)閉”位，閥將關(guān)死，而沒有氣流通過。
4) 外部控制和與計(jì)算機(jī)D/A轉(zhuǎn)換器連接
若流量設(shè)定使用外部信號(hào)，應(yīng)將設(shè)定選擇開關(guān)打至“外”，并從顯示儀上的外控信號(hào)插座接入（0～5V）或（4～20mA） 和“0 電平”（信號(hào)地）上即可。也可直接與計(jì)算機(jī)的D/A 轉(zhuǎn)換器連接，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。注意，流量設(shè)定的輸入阻抗大于10KΩ。
5) 流量檢測(cè)和與計(jì)算機(jī)A/D轉(zhuǎn)換器的連接
若用戶檢測(cè)流量輸出信號(hào)（0～5V）或（4～20mA）時(shí)，將線引至外控信號(hào)插座的“流量檢測(cè)”和“0電平”線上即可，也可直接與計(jì)算機(jī)的模數(shù)轉(zhuǎn)換器連接，5V或20mA輸出電壓對(duì)應(yīng)MFC 滿量程額定流量值。
注意，流量檢測(cè)輸出電流負(fù)載能力不得大于3mA。
6) 閥控功能
當(dāng)閥開關(guān)置于“閥控”位時(shí)，此時(shí)可通過“設(shè)定信號(hào)”正常控制氣體質(zhì)量流量。
7) 關(guān)機(jī)操作
關(guān)機(jī)斷電源后，氣流自動(dòng)截止。
推薦先關(guān)氣，后斷電源。
2. 帶液晶顯示屏操作
流量計(jì)使用一個(gè)帶背光的點(diǎn)陣液晶顯示器，直觀清晰的顯示出多種有用的流量數(shù)據(jù)，包括：瞬時(shí)流量、累計(jì)流量和溫度等。DMASS具有不同的顯示畫面，它取決于定貨的型號(hào)，如流量計(jì)或控制器、電流輸出或電壓輸出等。具有統(tǒng)一的主顯示畫面、氣體選擇畫面（特定氣體時(shí)本畫面可能無效）、校準(zhǔn)畫面、設(shè)備信息等。
在主畫面狀態(tài)下，輕按流量計(jì)右下角的[MENU]按鍵可以切換顯示畫面到菜單畫面。
3. 常用操作
界面說明
按鍵在不同顯示情景下的功能
監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)
按【左】鍵，順序切換當(dāng)前顯示參數(shù)為：瞬時(shí)流量、電流、介質(zhì)溫度、累計(jì)流量
按【右】鍵，倒序切換當(dāng)前顯示參數(shù)為：累計(jì)流量、介質(zhì)溫度、電流、瞬時(shí)流量
按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗
菜單顯示狀態(tài)
按【右】鍵，順序切換本級(jí)菜單各菜單項(xiàng)
按【左】鍵，退至上一級(jí)菜單
按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入下一級(jí)菜單或者〖參數(shù)輸入對(duì)話框〗
參數(shù)輸入對(duì)話框
按【上】鍵，設(shè)定數(shù)字增加1
按【下】鍵，設(shè)定數(shù)字減小1
按【右】鍵，光標(biāo)右移一位
按【左】鍵，光標(biāo)左移一位
按【MENU/OK】鍵，確認(rèn)
存儲(chǔ)問詢對(duì)話框
按【右】鍵，不存儲(chǔ)數(shù)據(jù)或選項(xiàng)，回到〖存儲(chǔ)問詢對(duì)話框〗前的菜單項(xiàng)。
按【左】鍵，存儲(chǔ)數(shù)據(jù)或選項(xiàng)，回到〖存儲(chǔ)問詢對(duì)話框〗前的菜單項(xiàng)。
4. 功能操作詳解
1) 流量設(shè)置
按【VALVE】 鍵進(jìn)入流量設(shè)定界面
按【上】鍵增大流量設(shè)置，按【下】鍵減小流量設(shè)置，按【左】鍵流量設(shè)定為0，按【右】鍵流量設(shè)定為滿量程。按【VALVE】鍵保存并返回監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)。
2) 啟動(dòng)/停止流量累計(jì)
在〖監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入用流量設(shè)置子菜單
若累計(jì)功能處于停止?fàn)顟B(tài)，顯示如下畫面
此時(shí)按【MENU/OK】鍵會(huì)進(jìn)入〖存儲(chǔ)問詢對(duì)話框〗 如下
此時(shí)按【左】鍵修改并存儲(chǔ)，按【右】鍵則退出到之前菜單
3) 流量累計(jì)值清零：
在〖監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗
按【MENU/OK】，進(jìn)入流量設(shè)置子菜單，按【右】使菜單項(xiàng)“1 Reset Total”處于焦點(diǎn)狀態(tài)
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入〖存儲(chǔ)問詢對(duì)話框〗；
按【左】鍵修改并存儲(chǔ)，按【右】鍵則退出到之前菜單。
4) 流量小信號(hào)切除
在〖監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗
按【MENU/OK】，進(jìn)入流量設(shè)置子菜單，按【右】使菜單項(xiàng)“2 Flow CutOff”處于焦點(diǎn)狀態(tài)
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入〖參數(shù)輸入對(duì)話框〗，輸入所需數(shù)據(jù)
修改完最后一位字符，按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗
此時(shí)，按【左】鍵，存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，按【右】鍵，放棄存儲(chǔ)，回到之前的菜單
5) 流量系數(shù)
在〖監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗；
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入流量設(shè)置子菜單，按【左】鍵使“3 Coefficient”處于焦點(diǎn)狀態(tài)
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入〖參數(shù)輸入對(duì)話框〗，輸入所需數(shù)據(jù)
修改完最后一位字符后，按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入〖存儲(chǔ)問詢對(duì)話框〗
此時(shí)，按【左】鍵，存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，按【右】鍵，放棄存儲(chǔ)，回到之前的菜單
6) 流量零點(diǎn)設(shè)置
在〖監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗；
按【右】鍵，使菜單項(xiàng)“2 Zero Offset”處于焦點(diǎn)狀態(tài)；
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入安裝位置零點(diǎn)設(shè)置子菜單；使菜單項(xiàng)“1 Set Zero”處于焦點(diǎn)狀態(tài)；按【MENU/OK】鍵，進(jìn)行（5）操作，為設(shè)定流量零點(diǎn)操作；
按【右】鍵，使菜單項(xiàng)“2 Clear Zero”處于焦點(diǎn)狀態(tài)；為取消流量設(shè)定零點(diǎn)操作；
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入〖存儲(chǔ)問詢對(duì)話框〗；
此時(shí)，按【左】鍵，存儲(chǔ)零點(diǎn)值，按【右】鍵，放棄存儲(chǔ)，回到之前的菜單。
7) 設(shè)備輪詢地址設(shè)置
在〖監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗；
按【右】鍵使菜單項(xiàng)“6 Hart Address”處于焦點(diǎn)狀態(tài)；
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入Hart地址設(shè)置子菜單，第3行顯示為當(dāng)前輪詢地址；
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入〖參數(shù)輸入對(duì)話框〗， 輸入期望值（地址范圍0～31）
修改完最后一位字符后，按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入〖存儲(chǔ)問詢對(duì)話框〗
此時(shí)，按【左】鍵，存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，按【右】鍵，放棄存儲(chǔ)，回到之前的菜單
8) 環(huán)路輸出測(cè)試
在〖監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗
按【右】鍵,使菜單項(xiàng)“7 Loop Test”處于焦點(diǎn)狀態(tài)
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入回路測(cè)試子菜單
注意：這時(shí)儀表輸出電流被鎖定為4mA
按【右】鍵，滾動(dòng)菜單項(xiàng)，可以使儀表輸出電流鎖定為相應(yīng)值；（例如，鎖定為16，如下圖）
在回路測(cè)試菜單下，按【左】鍵，則退出回路測(cè)試，回到之前的菜單，且儀表電流回歸自動(dòng)
9) 控制模式轉(zhuǎn)換
在〖監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入流量設(shè)置子菜單，按【右】鍵使“4 Caculate Mode”處于焦點(diǎn)狀態(tài)
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入運(yùn)算方式選擇子菜單
按【右】鍵，滾動(dòng)被選項(xiàng)，當(dāng)選擇“Analog Input”時(shí)，為外接模擬信號(hào)控制模式；當(dāng)選擇“Local/RS485”時(shí)，為就地按鍵操作控制或RS485通訊控制
此時(shí)，按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入〖存儲(chǔ)問詢對(duì)話框〗
按【左】鍵，存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，按【右】鍵，放棄存儲(chǔ)，回到之前的菜單，如果存儲(chǔ)，且被選擇項(xiàng)之前的方框被圓點(diǎn)填充
10) 設(shè)置輸出阻尼值
在〖監(jiān)測(cè)量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進(jìn)入〖菜單顯示狀態(tài)〗
按【右】鍵使菜單項(xiàng)“8 Set Damping”處于焦點(diǎn)狀態(tài)
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入阻尼設(shè)置子菜單，第3行顯示為當(dāng)前阻尼值
按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入〖參數(shù)輸入對(duì)話框〗，輸入期望值（0～254）
修改完最后一位字符后，按【MENU/OK】鍵，顯示進(jìn)入〖存儲(chǔ)問詢對(duì)話框〗
此時(shí)，按【左】鍵，存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，按【右】鍵，放棄存儲(chǔ)，回到之前的菜單
八、注意事項(xiàng)
1. 加裝過濾器
使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過濾器，如果流量計(jì)出口接有液體源瓶，應(yīng)在流量計(jì)出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計(jì)。
2. 使用腐蝕性氣體
流量計(jì)通道采用的材料為：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清晰、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體時(shí)，應(yīng)在定貨時(shí)聲明。 使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。
3. 安裝位置
本控制器安裝時(shí)最好保持安裝面水平，但對(duì)位置并不特別敏感， 可以任意位置安裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。
4. 閥口密封
質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥, 不是截止閥, 不能當(dāng)截止閥使用, 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi), 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%, 則應(yīng)進(jìn)行維修。
5. 標(biāo)定與不同氣體的換算
本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定，需要在訂貨時(shí)與銷售人員特別聲明。
用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時(shí)，可以通過轉(zhuǎn)換系數(shù)表進(jìn)行換算。
九、一般異常情況判斷和處理
十、售后與服務(wù)
1. 產(chǎn)品保證與保修
本公司生產(chǎn)的DFC系列氣體質(zhì)量流量計(jì)在出貨兩年以內(nèi)，如果用戶按照說明書要求使用，并且產(chǎn)品沒有遭受物理損害、污染、改裝或翻新，我們保證產(chǎn)品的材料、加工和性能的質(zhì)量，若有問題，免費(fèi)維修。
用戶收到貨物后，有責(zé)任檢查及核對(duì)貨物，并通過傳真、電話或電子郵件的方式及時(shí)通知本公司銷售部有關(guān)收貨情況。
保修期內(nèi)，產(chǎn)品必須由本公司或授權(quán)的服務(wù)中心修理，否則，產(chǎn)品的保修是無效的。
在一年保修期以內(nèi)，維修免費(fèi)，如果過保，在維修前將會(huì)通知用戶需要更換的部件及維修費(fèi)用。維修后，在90天以內(nèi)對(duì)修理的部分進(jìn)行保修，保修件包括易損件 (四氟或密封圈等)。
用戶使用過有毒、有污染或腐蝕性氣體的產(chǎn)品, 如果沒有出示清除污染及凈化處理的證明，本公司將不負(fù)責(zé)修理或保修。
2. 保修對(duì)使用的要求
氣體必須潔凈且沒有顆粒物, 沒有液體, 這就要求在DFC系列氣體質(zhì)量流量計(jì)的上游氣路中安裝<30μm的過濾器。
輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn)，不能超過該產(chǎn)品要求的最大壓力。
產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng),用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì)使保修無效，由于不正確的使用所導(dǎo)致的損害不能歸咎于本公司。
對(duì)電子線路的要求：必須小心按規(guī)定連接系統(tǒng)的接線, 不正確的接線會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品內(nèi)部電路板的永久損壞。DFC系列氣體質(zhì)量流量計(jì)電源需要電壓波動(dòng)小于5mV的高抗干擾穩(wěn)壓電源。
氣路的連接：必須仔細(xì)的安裝密封管件, 保證所有的密封管件經(jīng)過單獨(dú)檢查并且沒有劃痕。
禁止自行拆開DFC系列氣體質(zhì)量流量計(jì)。如果自行拆卸造成損壞，則本公司承諾的保修無效。
3. 服務(wù)
本公司的產(chǎn)品工程師將會(huì)幫助您解決關(guān)于操作、標(biāo)定、機(jī)電連接、工作條件要求、氣體轉(zhuǎn)換等方面的問題，我們提供技術(shù)支持與維護(hù)，提供產(chǎn)品使用培訓(xùn)。
售后服務(wù)聯(lián)系方式
地址：合肥市高新區(qū)習(xí)友路與石蓮南路交口 中國聲谷4號(hào)樓九層
電話：400-161-8008
傳真：0551-65150689
網(wǎng)址：www.enjoybeyond.com
-
杜威DFC氣體質(zhì)量流量計(jì)使用說明書20200602.pdf
合肥市高新區(qū)習(xí)友路與石蓮南路交口中國聲谷孵化樓九層
電話：400-161-8008
郵箱：duwei@duwei-inst.com
